作者：陳康
公司名稱：無錫市瑞達電子有限公司
摘要：本文主要介紹了本人對LOGO!控制器的認識和LOGO!控制器在半導體硅片腐蝕清洗中設備中的試用情況。
關鍵詞：微電子；LOGO!控制器；硅片腐蝕設備。
微電子技術正在悄悄走進航空航天、工業、農業和國防，也正在悄悄進入每一個家庭。小小硅片的巨大“魔力”是我們的前人根本無法想象的。
微電子技術是一門綜合性很強的邊緣學科，自動化和計算機等技術發展，使硅片（集成電路）這種高技術產品的造價已降到十分低廉的程度。這樣就為電子計算機進入千家萬戶鋪平了道路。使我們的生活越來越現代化。
無錫市瑞達電子有限公司自1992年開始涉足微電子設備行業，憑借中國華晶電子集團這個國家微電子基地的優勢和經驗，對引進的國際先進設備，工裝夾具及引線框料盒（Magazine）等一系列產品進行消化吸收、改進研發，為無錫華潤微電子、紹興華越微電子、吉林華微股份等老牌微電子企業設計制造、改造多種專用設備、輔助設備、Magazine 等。 現已擁有硅片清洗機、雙槽清洗機、二氧化硅腐蝕機、去膠機、硅片光刻預處理系統（OAP）、高反壓玻璃電泳設備，爐管清洗機，料盒清洗機，甩干機等全自動、半自動半導體設備的設計制造能力，與國內70多家微電子生產企業保持良好的業務合作關系，其中知名外商獨資、合資、臺資等大型企業達20多家。
本文主要介紹一種利用西門子LOGO!控制器控制的硅片鋁腐蝕清洗設備，能夠體驗西門子LOGO!控制器，本人是榮幸之至。之前無論是在學校里還是在工作中使用到的都是PLC，但是在實際工作中遇到很多控制器其實是沒有必要選擇功能強大的PLC的，簡單的邏輯控制器完全能夠勝任。這樣對設備的成本控制也是一個很大的幫助。在工控體驗網中發現西門子LOGO！控制器有給試用的機會，當時就迫不及待的注冊申請了。幸運的是，西門子LOGO！控制器體驗第二期中竟然就抽中了。還是非常感謝工控網和西門子LOGO!控制器給我這次機會！
在工作人員耐心的詢問了我試用的需求之后，很快就配置好了控制器快遞到我手中，收到快遞之后，發現了工作人員的工作細致之處，一起寄送的還有控制器與PC的通訊數據線和LOGO！控制器實訓教程，有了這兩個幫手，對體驗者來可以說是事半功倍了。
拿到產品首先是小巧的外觀吸引了我，操作員界面是一個背光顯示屏，詳細閱讀了實訓教程，對LOGO!控制器有了大概的了解。立即安裝LOGO!控制器的編程軟件，開始通電試用了。首先按照教程上的介紹進行了一些小的電路路的編程，下載到控制器中看一下控制器與PC的通訊是否正常，之后就是一個漫長的摸索階段了，先熟悉編程的方便，還有怎么能夠使用控制器附帶的操作界面，模擬量輸入輸出怎么使用，界面的的按鍵都是怎么使用的，畫面怎么編輯，畫面和控制程序怎么關聯，怎么能從界面上修改程序里使用的數據寄存器的數值，如果這些都能實現的話，這樣就剩下了外置定時器、計數器的費用了，結果還是很驚喜的，這些都可以實現，唯一覺的美中不足的就是LOGO！控制器的輸入輸出端子沒有外置的指示。
以下介紹LOGO!-0BA6控制器應用于腐蝕清洗設備—硅片鋁腐蝕清洗設備，介紹順序按照工作的順序進行：
一、系統原理：
該設備是用于6吋硅片鋁腐蝕清洗設備，處理能力為每槽1只6吋片架。具體功能如圖中所示：
按工藝處理順序如圖所示：
二、電氣原理圖和LOGO!控制器輸入輸出接線圖
按照系統原理設計電氣控制原理圖和LOGO!控制器輸入輸出端子接線圖如所示：
在這臺設備上主要是控制電磁閥的開關動作和電機啟動動作，輸入信號也多為開關量信號，還有使用到兩個固定模擬量輸出信號，主要用以驅動純水清洗槽兆聲啟動裝置，兆聲發生器的工作發出兆聲的功率由模擬量輸出模塊控制。以設備的原理和使用功能，這些動作對于簡單的邏輯控制器是完全能夠勝任的，還有就是LOGO!控制器的輸出電子能夠驅動10A的電流，這樣對于硬件配置又可以省下不少，這點和常用的PLC相比較有很大的優勢所在。還有就是OBA6自帶的顯示屏，不僅僅可以對程序進行編輯，還可以顯示和修改程序內部使用計數器和定時器的設定值，可以下外置人機界面或者是計數器或者定時器，因為現在的用戶是需要對設備中腐蝕的時間、批次和清洗的時間等自由更改，而這個對于LOGO！來說，它本身就全都解決了！
三、1，鋁腐蝕系統LOGO！控制器梯形圖程序截圖：
2，LOGO!控制器輸入輸出表：
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輸入端子
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信號名稱
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輸出信號
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信號名稱
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I1
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腐蝕槽啟動按鈕
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Q1
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腐蝕槽旋轉
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I2
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腐蝕槽復位按鈕
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Q2
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腐蝕槽提拉
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I3
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CDA壓力檢測
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Q3
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腐蝕槽加熱信號
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I4
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腐蝕液位壓力檢測
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Q4
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腐蝕槽排液信號
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I5
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腐蝕槽排液按鈕
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Q5
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報警塔燈紅色
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I6
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腐蝕槽加熱按鈕
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Q6
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報警塔燈黃色
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I7
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腐蝕槽液位溫度到
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Q7
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報警塔燈綠色
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I8
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腐蝕槽液位溫度異常
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Q8
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設備報警器
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I9
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腐蝕槽提拉高位
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AQ1
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兆聲發生器1
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I10
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腐蝕槽提拉低位
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AQ2
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兆聲發生器2
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I11
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兆聲輸出功率增加
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I12
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兆聲輸出功率減少
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3，信息文本顯示設置界面：
四、安裝調試
經過以上的準備，就可以進行最終的安裝、布線、程序調試工作，調試時使用編程軟件的在線監控功能還是很方便的。但是在調試中發現了控制器的一點不足之處就是沒有對應輸入輸出指示燈指示，雖然控制器本身的顯示屏上是可以查看到輸入輸出的狀態，但是還是沒有控制器本身上帶有硬件指示燈觀察方便。調試完成后進行了5天的老化試驗，控制器工作完全正常。
通過近兩個月的學習和摸索，對LOGO!有了一定的了解，也清楚的知道邏輯控制器和PLC的區別，知道了，其實在實際的工作中，很多控制系統LOGO!控制器就足夠了。只是在使用中不能向PLC一樣隨意使用內部繼電器，所有要在有限的內部繼電器情況下完成自己的設計目標。在使用的過程中也碰到了大大小小的很多問題，但最終都解決了，實現了自己的設計目的。
以上是個人的觀點，有很多的不足和缺點，望多多指教！
附電氣底板接線實物圖：
